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精密直线电机平台

直线电机1.png

应用领域

精密直线电机平台基于精度高,速度快,高响应的特点,在面板与半导 体加工领域,如精密测量测试设备、激光加工设备、3C高精度自动化设 备等领域广泛应用

优势

  • 直线电机驱动,带全闭环光栅反馈,

    误差更小,精度更高

  • 可实现高速度,高加速度,

    高响应性

  • 采用陶瓷、碳纤维、大理石等材质制

    作,重量轻,热膨胀系数更低

  • 稳定性好,寿命长

    可根据客户需求定制

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